மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி, அல்லது MBE, படிக அடி மூலக்கூறுகளில் படிகங்களின் உயர்தர மெல்லிய படங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு புதிய நுட்பமாகும். அதி-உயர் வெற்றிட நிலைமைகளில், வெப்ப அடுப்பால், பீம் அணு அல்லது மூலக்கூறு கற்றை மோதிய பிறகு உருவான துளைகள் மூலம், ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறின் பொருத்தமான வெப்பநிலைக்கு நேரடி ஊசி, ஒரே நேரத்தில் மூலக்கூறு ஸ்கேனிங்கிற்கு மூலக்கூறு பீமைக் கட்டுப்படுத்துவது, மூலக்கூறுகள் அல்லது அணிவகுப்புகளில் உள்ள அணிவகுப்புகளை உருவாக்கும்.

MBE உபகரணங்களின் இயல்பான செயல்பாட்டிற்கு, அதிக தூய்மை, குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் அல்ட்ரா-சுத்தமான திரவ நைட்ரஜன் ஆகியவை தொடர்ச்சியாகவும் நிலையானதாகவும் உபகரணங்களின் குளிரூட்டும் அறைக்கு கொண்டு செல்லப்பட வேண்டும். பொதுவாக, திரவ நைட்ரஜனை வழங்கும் ஒரு தொட்டியில் 0.3MPA மற்றும் 0.8MPA க்கு இடையில் வெளியீட்டு அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளது. -196 at இல் லிக்கிட் நைட்ரஜன் பைப்லைன் போக்குவரத்தின் போது நைட்ரஜனாக எளிதாக ஆவியாகிறது. சுமார் 1: 700 வாயு-திரவ விகிதத்துடன் திரவ நைட்ரஜன் குழாய்த்திட்டத்தில் வாயுவாக்கப்பட்டவுடன், அது ஒரு பெரிய அளவிலான திரவ நைட்ரஜன் ஓட்ட இடத்தை ஆக்கிரமித்து திரவ நைட்ரஜன் குழாயின் முடிவில் சாதாரண ஓட்டத்தைக் குறைக்கும். கூடுதலாக, திரவ நைட்ரஜன் சேமிப்பு தொட்டியில், சுத்தம் செய்யப்படாத குப்பைகள் இருக்க வாய்ப்புள்ளது. திரவ நைட்ரஜன் குழாய்த்திட்டத்தில், ஈரமான காற்றின் இருப்பு பனி கசடு தலைமுறைக்கு வழிவகுக்கும். இந்த அசுத்தங்கள் உபகரணங்களில் வெளியேற்றப்பட்டால், அது உபகரணங்களுக்கு கணிக்க முடியாத சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.

ஆகையால், வெளிப்புற சேமிப்பக தொட்டியில் உள்ள திரவ நைட்ரஜன் அதிக செயல்திறன், நிலைத்தன்மை மற்றும் சுத்தமான தூசி இல்லாத பட்டறையில் உள்ள MBE சாதனங்களுக்கு கொண்டு செல்லப்படுகிறது, மேலும் குறைந்த அழுத்தம், நைட்ரஜன் இல்லை, அசுத்தங்கள் இல்லை, 24 மணிநேர தடையில்லா, அத்தகைய போக்குவரத்து கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஒரு தகுதிவாய்ந்த தயாரிப்பு ஆகும்.