மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி அல்லது MBE என்பது படிக அடி மூலக்கூறுகளில் படிகங்களின் உயர்தர மெல்லிய படங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு புதிய நுட்பமாகும். அதி-உயர் வெற்றிட நிலையில், வெப்பமூட்டும் அடுப்பு மூலம் அனைத்து வகையான தேவையான கூறுகளும் பொருத்தப்பட்டு, நீராவியை உருவாக்கி, பீம் அணு அல்லது மூலக்கூறு கற்றைகளை மோதலுக்குப் பிறகு உருவாகும் துளைகள் வழியாக, ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறின் பொருத்தமான வெப்பநிலைக்கு நேரடியாக உட்செலுத்துதல், மூலக்கூறு கற்றை கட்டுப்படுத்துதல் அடி மூலக்கூறை ஒரே நேரத்தில் ஸ்கேன் செய்து, அது படிக சீரமைப்பு அடுக்குகளில் உள்ள மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக்களை ஒரு அடி மூலக்கூறு "வளர்ச்சியில்" மெல்லிய படமாக உருவாக்க முடியும்.

MBE உபகரணங்களின் இயல்பான செயல்பாட்டிற்கு, அதிக தூய்மை, குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் அல்ட்ரா-சுத்தமான திரவ நைட்ரஜன் ஆகியவை உபகரணங்களின் குளிரூட்டும் அறைக்கு தொடர்ந்து மற்றும் நிலையாக கொண்டு செல்லப்பட வேண்டும். பொதுவாக, திரவ நைட்ரஜனை வழங்கும் ஒரு தொட்டியானது 0.3MPa மற்றும் 0.8MPa இடையே வெளியீட்டு அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளது. -196℃ இல் திரவ நைட்ரஜன் குழாய் போக்குவரத்தின் போது நைட்ரஜனாக எளிதில் ஆவியாகிறது. சுமார் 1:700 வாயு-திரவ விகிதத்துடன் திரவ நைட்ரஜன் குழாயில் வாயுவாக்கப்பட்டவுடன், அது அதிக அளவு திரவ நைட்ரஜன் ஓட்ட இடத்தை ஆக்கிரமித்து, திரவ நைட்ரஜன் குழாயின் முடிவில் இயல்பான ஓட்டத்தைக் குறைக்கும். மேலும், திரவ நைட்ரஜன் சேமிப்பு தொட்டியில், சுத்தம் செய்யப்படாத குப்பைகள் இருக்க வாய்ப்புள்ளது. திரவ நைட்ரஜன் குழாயில், ஈரமான காற்றின் இருப்பு பனி கசடுகளின் உருவாக்கத்திற்கு வழிவகுக்கும். இந்த அசுத்தங்கள் உபகரணங்களில் வெளியேற்றப்பட்டால், அது சாதனத்திற்கு எதிர்பாராத சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.

எனவே, வெளிப்புற சேமிப்பு தொட்டியில் உள்ள திரவ நைட்ரஜன் தூசி இல்லாத பட்டறையில் உள்ள MBE உபகரணங்களுக்கு அதிக செயல்திறன், நிலைத்தன்மை மற்றும் தூய்மையுடன் கொண்டு செல்லப்படுகிறது, மேலும் குறைந்த அழுத்தம், நைட்ரஜன் இல்லை, அசுத்தங்கள் இல்லை, 24 மணிநேரம் தடையின்றி, அத்தகைய போக்குவரத்து கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஒரு தகுதி வாய்ந்த தயாரிப்பு.